质谱氮气发生器主要由储罐组件、净化组件、氮气缓冲系统、氮氧分离系统等四大部件组成。
储罐组件由空气储罐、b2b平台阀、球阀等组成，其作用是保证系统用气平稳外，还可以降低压缩空气的出气温度，使压缩空气中水、油等杂质随压缩空气温度的降低而分离出来，有利于延长后处理设备寿命，同时提高压缩空气的品质。
进而降低气流脉动，达到缓冲作用，从而减小系统压力波动，使压缩空气平稳地通过压缩空气净化组件，以便充分除去油水杂质，减轻后续PSA氧氮分离装置的负荷。同时，在吸附塔进行工作切换时，它也为PSA氧氮分离装置提供短时间内迅速升压所需的大量压缩空气，使得吸附塔内压力很快上升到工作压力，保证了设备可靠稳定的运行。
净化组件主要由管道过滤器、精过滤器、超精过滤器、冷冻干燥机、除油器等组成，其作用是除去压缩空气中的尘埃、水和油，为氮氧分离系统提供清洁的原料。
提供的压缩空气首先要通入压缩空气净化组件，压缩空气先由管道过滤器除去大部分的油、水、尘，再经冷冻干燥机进一步除水、精过滤器除油、除尘，并由在紧随其后的超精过滤器进行深度净化。根据系统工况，用来防止可能出现的微量油渗透，为碳分子筛提供充分保护，设计严谨的净化组件确保了碳分子筛的使用寿命。
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